原理（量子力学） 扫描探针与样品达到很近距离时，即产生隧道电流（量子隧穿效应）、从而反映出样品表面形貌信息 特点 具有原子级高分辨率，侧分辨率为 0.1~0.2 nm，纵分辨率可达0.001 nm 可以在真空、大气和液体条件下工作，即可在接近生理环境的条件下工作 非破坏性测量，无需接触样品或使用高能电子轰击样品 在此基础上，还有扫描探针显微镜 SPM 、原子力显微镜 AMF 等多种探针显微镜
